伺服行星减速机只有在过度工作使用后才会出现疲劳点蚀现象，基本不会在使用早期就出现点蚀现象，只有齿轮接触不好造成局部超负荷才会产生，并且齿轮的局部超负荷使实际接触应力大大超过齿轮材料的许用接触应力，有的齿轮达不到全齿长接触或仅在齿的一端接触，甚至对角接触。所以主要造成这种现象的因素有两种：
一、材料及处理规范的影响：
齿轮材料的选择正确与否以及使用负荷的匹配情况，热处理硬度的选择与匹配，也是影响早期点蚀的原因。
二、润滑油的影响：
由于齿轮传动的不合理润滑及润滑剂的选择不适也是影响早期点蚀的原因。防止减速机齿轮早期点蚀的途径：
1、伺服行星减速机传动的合理润滑及选择合适的润滑剂。
2、提高减速机齿轮安装精度，保证齿轮的接触精度。
因此要想伺服行星减速机正常稳定的运转，并且延长其使用寿命的话就要解决掉以上这两种因素的影响，同时定期做好对减速机的清洁、保养维护，这样才可以更大程度上的减少和避免设备故障、损坏的可能性。
